潽拓——爱德华磁悬浮分子泵,分子泵
莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
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广州潽拓维修德国莱宝LEYBOLD半磁浮分子泵TURBOVAC T 350 i
TURBOVAC 350 i/iX
连接口:DN 100 CF,有控制器
通讯接口:USB, RS-232
产品号 830061V3300
抽速 (Ar): 260 l/s
抽速 (H₂): 350 l/s
抽速 (He): 360 l/s
抽速 (N₂): 290 l/s
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TURBOVAC T 450 i/iX LEYBOLD真空泵维修
450i/iX T350i/iX T450i/iX TURBOVAC i/iX分子泵
莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和真空,具有操作简单,可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后,可以实现低于10-10mbar(0.75x 10-10 Torr)的压力。莱宝真空是世界上涡轮分子泵品牌之一。TURBOVAC 和 TURBOVAC
莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和真空,具有操作简单,可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后,可以实现低于10-10mbar(0.75x 10-10 Torr)的压力。